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作者
Hong Jin Kim,
Girish Bohra,
Hyucksoo Yang,
Si-Gyung Ahn,
Liqiao Qin,
Dinesh Koli
出处
期刊：
Microelectronic Engineering
[Elsevier BV]
日期：2015-03-01
卷期号：136: 36-41
被引量：50
标识
DOI：10.1016/j.mee.2015.03.033
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