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Perfluoroelastomer and fluoroelastomer seals for semiconductor wafer processing equipment

薄脆饼弹性体快速热处理半导体剥离（纤维）电镀（地质）材料科学耐化学性蚀刻（微加工）化学纳米技术复合材料光电子学地球物理学地质学图层（电子）

作者

Shuhong Wang,John M. Legare

出处

期刊：Journal of Fluorine Chemistry [Elsevier BV]
日期：2003-05-19 卷期号：122 (1): 113-119 被引量：35

标识

DOI：10.1016/s0022-1139(03)00102-7

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