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Spectroscopic ellipsometry and its applications in the study of thin film materials

椭圆偏振法 材料科学 薄膜 光学 纳米技术 物理
作者
朱绪丹 Zhu Xu-dan,张荣君 Zhang Rongjun,郑玉祥 Zheng Yu-xiang,王松有 Wang Song-you,陈良尧 Chen Liangyao
出处
期刊：Chinese Optics [Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sciences]
日期：2019-01-01 卷期号：12 (6): 1195-1234 被引量：9
标识
DOI：10.3788/co.20191206.1195
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