Microstructures and electrical properties of nanostructured Cr2O3 thin films deposited by dual-target reactive high-power impulse magnetron sputtering

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作者
Mingdong Zhu,Fei Li,Guangxue Zhou,Xiao Jin,Xiaofeng Wang,Langping Wang,Falun Song
出处
期刊:Vacuum [Elsevier BV]
卷期号:164: 293-299 被引量:20
标识
DOI:10.1016/j.vacuum.2019.03.035
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