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Thermal Atomic Layer Deposition of Aluminum–Molybdenum Oxide Films Using Trimethylaluminum, Molybdenum Dichloride Dioxide and Water
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作者
A. M. Maksumova,
I. S. Bodalev,
S. G. Gadzhimuradov,
Ilmutdin M. Abdulagatov,
М. Х. Рабаданов,
А. И. Абдулагатов
出处
期刊：
Russian Journal of Applied Chemistry
[Pleiades Publishing]
日期：2024-07-01
卷期号：97 (7): 595-607
标识
DOI：10.1134/s1070427224070024
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