Thermal and mechanical reliability of thermal through-silicon vias in three-dimensional integrated circuits

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作者
Chenlei Qu,Ruoyu Dai,J. Q. Zheng,Yusheng Hu,Jinhao Zhang
出处
期刊:Microelectronics Reliability [Elsevier BV]
卷期号:143: 114952-114952 被引量:25
标识
DOI:10.1016/j.microrel.2023.114952
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