Fabricating highly stable and reliable vanadium dioxide thin films: Insights from radio frequency magnetron sputtering

材料科学 二氧化二钒 溅射沉积 无线电频率 薄膜 腔磁控管 高功率脉冲磁控溅射 溅射 光电子学 冶金 纳米技术 电信 计算机科学
作者
Mayank Dotiyal,Manoj Singh,Rupak Banerjee,Emila Panda
出处
期刊:Ceramics International [Elsevier BV]
被引量:1
标识
DOI:10.1016/j.ceramint.2024.09.173

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