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Influence of W contents on the microstructure and tribological properties of W-DLC coatings deposited by PECVD combined with magnetron sputtering

微观结构等离子体增强化学气相沉积材料科学溅射沉积摩擦学冶金腔磁控管溅射化学工程薄膜纳米技术硅工程类

作者

Xingguo Feng,Shengzhu Cao,Yugang Zheng,Ying He,Keliang Wang,Kaifeng Zhang,Hui Zhou

出处

期刊：Vacuum [Elsevier BV]
日期：2024-05-15 卷期号：226: 113293-113293 被引量：14

标识

DOI：10.1016/j.vacuum.2024.113293

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