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The effect of deposition parameters on the properties of yttria-stabilized zirconia thin films

作者

David E Ruddell,Brian R. Stoner,Jeffrey Y. Thompson

出处

期刊：Thin Solid Films [Elsevier BV]
日期：2003-11-01 卷期号：445 (1): 14-19 被引量：62

标识

DOI：10.1016/j.tsf.2003.07.009

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