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Deposition of ternary silicon based compounds by CVD techniques

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作者
Francisco Javier Soriano Martí,A. Castro,J. Olivares,C. Gómez‐Aleixandre,J. M. Albella
出处
期刊：Journal de physique [EDP Sciences]
日期：1999-09-01 卷期号：09 (PR8): Pr8-107
标识
DOI：10.1051/jp4:1999813
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