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Influence of sputtering conditions on ionic conductivity of LiPON thin films

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作者
Yohann Hamon,A. Douard,F. Sabary,Corinne Marcel,P. Vinatier,Brigitte Pecquenard,A. Levasseur
出处
期刊:Solid State Ionics [Elsevier BV]
卷期号:177 (3-4): 257-261 被引量:167
标识
DOI:10.1016/j.ssi.2005.10.021
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