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Thermal conductivity of titanium nitride/titanium aluminum nitride multilayer coatings deposited by lateral rotating cathode arc
作者
Majid Kabiri Samani,
Xing-zhao Ding,
N. Khosravian,
Behnam Amin-Ahmadi,
Yang Yi,
Gang Chen,
Erik C. Neyts,
Annemie Bogaerts,
Beng Kang Tay
出处
期刊：
Thin Solid Films
[Elsevier BV]
日期：2015-02-20
卷期号：578: 133-138
被引量：82
标识
DOI：10.1016/j.tsf.2015.02.032
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