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Design and optimization of MEMS based piezoelectric actuator for drug delivery systems

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作者
K. Srinivasa Rao,Md. Hamza,P. Ashok Kumar,K. Girija Sravani
出处
期刊：Microsystem Technologies-micro-and Nanosystems-information Storage and Processing Systems [Springer Science+Business Media]
日期：2019-12-11 卷期号：26 (5): 1671-1679 被引量：43
标识
DOI：10.1007/s00542-019-04712-9
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