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Effects of Thermal Annealing on the Electrical Properties and Stability of Pt Thin Film Resistors with Ti and PtxOy Interlayers

材料科学 退火（玻璃） 热稳定性 电阻器 薄膜 复合材料 热的 纳米技术 化学工程 电气工程 热力学 工程类 物理 电压
作者
Yawen Pang,Congchun Zhang,Peng Lei,Yu-Sen Wang,Zhenjie Lv
出处
期刊：Journal of physics [IOP Publishing]
日期：2021-08-01 卷期号：2002 (1): 012002-012002
链接
doi.orgdoi.org
标识
DOI：10.1088/1742-6596/2002/1/012002
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