Nanometer-resolution white-light scanning interferometry for surface-profiling of hybrid bonding samples for advanced semiconductor packaging

纳米 半导体 材料科学 仿形(计算机编程) 白光干涉法 白光 光电子学 干涉测量 纳米技术 光学 复合材料 物理 计算机科学 操作系统
作者
Hongwei Chu,Dae Hee Kim,Jun Hyung Park,Sukkyung Kang,Joo‐Hiuk Son,Hyun Min Lee,Hongki Yoo,Seungwoo Kim,Sanha Kim,Youngjin Kim
出处
期刊:Applied Surface Science [Elsevier BV]
卷期号:689: 162466-162466 被引量:9
标识
DOI:10.1016/j.apsusc.2025.162466
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