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Efficient Cu/SiO2 hybrid bonding through alkaline surface modification for 3D IC integration
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作者
Yuan Chen,
Jia-Juen Ong,
Dinh-Phuc Tran,
Wei-Lan Chiu,
Hsiang-Hung Chang,
Wei-You Hsu,
Chih Chen
出处
期刊：
Applied Surface Science
[Elsevier]
日期：2025-01-01
卷期号：: 162534-162534
标识
DOI：10.1016/j.apsusc.2025.162534
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