Close-to-Atomic Precision Surface Achieved through a Neutral and Eco-friendly Slurry in Chemical Mechanical Polishing of TC4 Alloy

抛光 环境友好型 泥浆 合金 材料科学 化学机械平面化 腐蚀 钛合金 碱金属 冶金 化学工程 纳米技术 复合材料 化学 工程类 有机化学 生物 生态学
作者
Jinwei Liu,Liyun Liu,Peng Zhang,Yu‐Peng He,Deping Yu,Chen Xiao
出处
期刊:ACS Sustainable Chemistry & Engineering [American Chemical Society]
卷期号:12 (43): 16082-16090 被引量:5
标识
DOI:10.1021/acssuschemeng.4c06462
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