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Effect of Target Bias on TiN Coatings Using Reactive Magnetron Sputtering

材料科学溅射锡溅射沉积高功率脉冲磁控溅射光电子学腔磁控管纳米技术冶金薄膜

作者

Sung‐Yong Chun

出处

期刊：Journal of the Korean Physical Society [Springer Science+Business Media]
日期：2009-04-15 卷期号：54 (4): 1559-1563 被引量：1

标识

DOI：10.3938/jkps.54.1559

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