原子层沉积
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沉积物
古生物学
作者
Li Tan,Bo Liu,Jinghua Teng,Shifeng Guo,Hong Yee Low,Kian Ping Loh
出处
期刊:Nanoscale
[The Royal Society of Chemistry]
日期:2014-01-01
卷期号:6 (18): 10584-10588
被引量:332
摘要
A mono- to multilayer thick MoS2film has been grown by using the atomic layer deposition (ALD) technique on a sapphire wafer.
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