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Selective electrochemical mechanical polishing of 4H–SiC surface employing porous material impregnated with electrolyte

材料科学电解质抛光表面粗糙度多孔性复合材料阳极电化学石英氧化物化学工程冶金电极工程类物理化学化学

作者

Xiaozhe Yang,Xu Yang,Zhuangde Jiang,Kazuya Yamamura,Zhuangde Jiang,Kazuya Yamamura

出处

期刊：Ceramics International [Elsevier BV]
日期：2023-08-08 卷期号：49 (22): 34569-34581 被引量：19

标识

DOI：10.1016/j.ceramint.2023.08.101

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