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$\textit{C}$-Axis Oriented HZO on Flat Amorphous TiN Achieving High Uniformity, Breakdown Field, Final 2P$_{\text{r}}$, and Endurance

锡 无定形固体 领域（数学） 材料科学 光电子学 物理 结晶学 化学 冶金 数学 纯数学
作者
Zefu Zhao,Yu-Tsung Liao,Yu-Rui Chen,Yun-Wen Chen,Wan-Hsuan Hsieh,Jer-Fu Wang,Yu-An Chen,Hao-Yi Lu,Wei-Teng Hsu,Dai-Ying Lee,Ming-Hsiu Lee,C. W. Liu
出处
期刊：IEEE Transactions on Electron Devices [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
日期：2024-01-01 卷期号：: 1-6 被引量：1
标识
DOI：10.1109/ted.2024.3502032
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