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Study of formation and some properties of Ti-C:H films prepared by d.c. magnetron sputtering

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作者

V. Kulikovsky,F. Fendrych,L. Jastrabı́k,D. Chvostová

出处

期刊：Surface & Coatings Technology [Elsevier BV]
日期：1997-05-01 卷期号：91 (1-2): 122-130 被引量：25

标识

DOI：10.1016/s0257-8972(96)03146-5

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