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Excellent Ferroelectricity in 6-nm HZO With Sub-5-nm Nb Electrodes and Nb 2 O 5 Interface Engineering at Low-Thermal Budget of 300 ° C
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作者
Keyou Tong,
Xuanyi Li,
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Weibing Liu,
Wenjun Zhang,
Sen Yang,
Haisu Gao,
Binbin Xu,
Jiahan Yu,
Wenjuan Xiong,
xiaoxue ji,
J J Liu,
Xiaolei Wang,
Jun Luo
出处
期刊：
IEEE Electron Device Letters
[Institute of Electrical and Electronics Engineers]
日期：2026-07-07
卷期号：47 (9): 1771-1774
标识
DOI：10.1109/led.2026.3711003
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