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压电传感器
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制作
微电子机械系统
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机械系统
电子元件
可制造性设计
机械臂
传感器阵列
作者
Lin Zhu,Feifan Yang,Shenglin Jiang,Kanghua Li,Guangzu Zhang
标识
DOI:10.1016/j.cej.2026.175327
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