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The Effect of InGaAs/GaAs Superlattices on GaAs Epilayer Grown on Si (100) Substrate

超晶格 材料科学 退火（玻璃） 光电子学 结晶度 砷化镓 基质（水族馆） 冶金 复合材料 海洋学 地质学
作者
Xiaoyi Li,Qi Wang,Yifan Wang,Zhigang Jia,Xiaomin Ren,Jun Wang,Shiwei Cai,Xiaoguang Zhang,Yongqing Huang,Xiaofeng Duan
标识
DOI：10.1364/acpc.2013.af2b.17
摘要
High-quality GaAs epilayers on Si substrates have been obtained by insertion of InGaAs/GaAs superlattices combined with thermal cycle annealing. The crystallinity of GaAs epilayer has been investigated by DCXRD, AFM and TEM.
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