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作者
N.B. Koster,
B. Mertens,
R. Jansen,
A. van de Runstraat,
F. Stietz,
Marco Wedowski,
H. Meiling,
R. Klein,
Alexander Gottwald,
Frank Scholze,
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出处
期刊：
Microelectronic Engineering
[Elsevier BV]
日期：2002-07-01
卷期号：61-62: 65-76
被引量：35
链接
differ.nl
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doi.org
标识
DOI：10.1016/s0167-9317(02)00535-x
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