Nanoscale smoothing of plasmonic films and structures using gas cluster ion beam irradiation

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作者
Ee Jin Teo,Noriaki Toyoda,Chengyuan Yang,Andrew A. Bettiol,Jinghua Teng
出处
期刊:Applied Physics A [Springer Science+Business Media]
卷期号:117 (2): 719-723 被引量:17
标识
DOI:10.1007/s00339-014-8728-1
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