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Nanoscale smoothing of plasmonic films and structures using gas cluster ion beam irradiation

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作者
Ee Jin Teo,Noriaki Toyoda,Chengyuan Yang,Andrew A. Bettiol,Jinghua Teng
出处
期刊：Applied Physics A [Springer Science+Business Media]
日期：2014-08-24 卷期号：117 (2): 719-723 被引量：16
标识
DOI：10.1007/s00339-014-8728-1
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