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作者
Hemdan S.H. Mohamed,
Mahmoud Abdel-Hafiez,
B. N. Miroshnikov,
А. Д. Баринов,
И. Н. Мирошникова
出处
期刊：
Materials Science in Semiconductor Processing
[Elsevier BV]
日期：2014-09-06
卷期号：27: 725-732
被引量：10
链接
arxiv.org
arxiv.org
datacite.org
doi.org
标识
DOI：10.1016/j.mssp.2014.08.010
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