Yttrium carbide thin film as an emerging transition metal carbide Prepared by plasma-enhanced atomic layer deposition for Dual diffusion barrier applications into Cu and Ru metallization

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作者
Minjeong Kweon,Chaehyun Park,Debananda Mohapatra,Sang Bok Kim,Jong‐Seong Bae,Taehoon Cheon,Soo‐Hyun Kim
出处
期刊:Applied Surface Science [Elsevier BV]
卷期号:: 163302-163302 被引量:1
标识
DOI:10.1016/j.apsusc.2025.163302
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