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Accurate optical proximity correction using convolutional neural network with feature aggregation

卷积神经网络特征（语言学）计算机科学人工智能模式识别（心理学）哲学语言学

作者

Yongkang Liu,Wei Zhao,Xu‐Lin Zhang,Yiming Ji,Ruqiang Yan,Yuandong Gu

出处

期刊：Journal of micro/nanopatterning, materials, and metrology [SPIE - International Society for Optical Engineering]
日期：2025-04-25 卷期号：24 (02)

标识

DOI：10.1117/1.jmm.24.2.023201

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