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作者
Yao Hong,
Hai Bi,
Junjie Wei,
Shuo Zhan,
Fangxin Chen
出处
期刊:
Precision Engineering-journal of The International Societies for Precision Engineering and Nanotechnology
[Elsevier BV]
日期:2023-10-05
卷期号:85: 136-142
标识
DOI:10.1016/j.precisioneng.2023.09.011
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