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Error Compensation Method for Galvanometer Scanning Based On Ordinary Kriging Interpolation

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作者
Yufeng Liang,Tian Zhang,Youmin Rong,Yu Huang
出处
期刊：International Journal of Precision Engineering and Manufacturing [Springer Science+Business Media]
日期：2025-10-22 卷期号：27 (2): 629-644 被引量：1
标识
DOI：10.1007/s12541-025-01361-z
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