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Effect of Cu Microstructures on Cu/SiO2 Hybrid Bonding for 3D IC Heterogeneous Integration
微观结构
材料科学
冶金
作者
Chih Chen,
Huai-En Lin,
Wei-Lan Chiu,
Hsiang-Hung Chang
标识
DOI：10.1109/edtm61175.2025.11040297
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