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Wafer-Level Fabrication of Flexible Silicon Carbide Bioelectronics for Electrical Stimulations

生物电子学 制作 薄脆饼 碳化硅 材料科学 纳米技术 硅 光电子学 工程物理 工程类 冶金 医学 病理 生物传感器 替代医学
作者
Minh Anh Huynh,Minh Nguyen,Sharda Yadav,Thi Thanh Ha Nguyen,Sina S. Jamali,Philip Tanner,Tuan‐Khoa Nguyen,Nam-Trung Nguyen
出处
期刊:ACS applied electronic materials [American Chemical Society]
卷期号:7 (18): 8364-8376 被引量:1
标识
DOI:10.1021/acsaelm.5c00951
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