New process of silicon carbide purification intended for silicon passivation

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作者
M. Barbouche,R. Benabderrahmane Zaghouani,Nour Elhouda Ben Ammar,Vincenzo Aglieri,Mauro Mosca,Robert Macaluso,K. Khirouni,Hatem Ezzaouia
出处
期刊:Superlattices and Microstructures [Elsevier BV]
卷期号:101: 512-521 被引量:11
标识
DOI:10.1016/j.spmi.2016.11.064
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