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Highly Selective Plasma Etching Technique for Molybdenum

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作者

Artem A. Osipov,Nikolai Andrianov,Anastasia B. Speshilova,Alina E. Gagaeva,Sarah Risquez,Alexandr Vorobyev,Sergey Alexandrov

出处

期刊：Plasma Chemistry and Plasma Processing [Springer Science+Business Media]
日期：2023-02-18 卷期号：43 (3): 697-707 被引量：7

标识

DOI：10.1007/s11090-023-10318-x

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