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Wafer-scale alignment and integration of micro-light-emitting diodes using engineered van der Waals forces

范德瓦尔斯力 材料科学 光电子学 薄脆饼 中间层 发光二极管 有源矩阵 二极管 光刻 纳米技术 薄膜晶体管 蚀刻（微加工） 化学 分子 有机化学 图层（电子）
作者
Junsik Hwang,Hyun Joon Kim,Seog Woo Hong,Joon‐Yong Park,Dong Kyun Kim,Dongho Kim,Sanghoon Song,Jonghyun Jeong,Yongchan Kim,Min Jae Yeom,Min‐Chul Yu,Joosung Kim,Younghwan Park,Dong‐Chul Shin,Sungjin Kang,Jaikwang Shin,Yongsung Kim,Euijoon Yoon,Hojin Lee,Geonwook Yoo
出处
期刊：Nature electronics [Springer Nature]
日期：2023-01-30 卷期号：6 (3): 216-224 被引量：23
标识
DOI：10.1038/s41928-022-00912-w
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