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作者
Vladimir V. Fedorov,
Liliia N. Dvoretckaia,
А М Можаров,
Sergey V. Fedina,
Demid A. Kirilenko,
Tamara N. Berezovskaya,
N. N. Faleev,
P. A. Yunin,
М. Н. Дроздов,
Ivan S. Mukhin
出处
期刊：
Materials Science in Semiconductor Processing
[Elsevier BV]
日期：2023-09-28
卷期号：168: 107867-107867
被引量：4
标识
DOI：10.1016/j.mssp.2023.107867
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