发布文献求助
已入深夜，您辛苦了！由于当前在线用户较少，发布求助请尽量完整地填写文献信息，科研通机器人24小时在线，伴您度过漫漫科研夜！祝你早点完成任务，早点休息，好梦！

The Extreme Extendibility of Cu and Post-Cu Dual Damascene BEOL Interconnect Technology

铜互连 互连 材料科学 对偶（语法数字） 铜 光电子学 计算机科学 冶金 电信 文学类 艺术
作者
D. Edelstein,S. Nguyen,Huai Huang,Amod Jog,Jennifer Church,Sabyasachi Ghosh,Nicholas A. Lanzillo,Maria Josè Lo Faro,S. McDermott,D. Metzler,Carisa K. Meagher,Yann Mignot,T. Nogami,Florian Ion Tiberiu Petrescu,M. Shoudy,Mary Claire Silvestre,A. Simon,Linda Wangoh,Han Zhang
标识
DOI：10.1109/iedm50854.2024.10873451
相关文献
科研通AI机器人已完成分析
对不起，本页面需要您登录以后才可查看
科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
LG完成签到 ，获得积分10
1秒前
Pauline完成签到 ，获得积分10
5秒前
默默的诗云关注了科研通微信公众号
5秒前
6秒前
东都哈士奇完成签到，获得积分10
9秒前
11秒前
11秒前
一只沐完成签到，获得积分10
13秒前
16秒前
17秒前
善学以致用的应助被sherry采纳，获得10
18秒前
JamesPei的应助被丰富的乐瑶采纳，获得10
18秒前
王吉萍完成签到 ，获得积分10
20秒前
20秒前
22秒前
23秒前
刘观海完成签到 ，获得积分10
23秒前
24秒前
27秒前
29秒前
不能随便完成签到，获得积分10
33秒前
sherry发布了新的文献求助10
36秒前
跳跃的鹏飞完成签到 ，获得积分0
36秒前
41秒前
JamesPei的应助被sherry采纳，获得10
41秒前
111发布了新的文献求助10
41秒前
蜡笔小新完成签到，获得积分20
43秒前
Jasper的应助被MrZhZh采纳，获得10
45秒前
45秒前
丰富的冰烟完成签到，获得积分10
46秒前
zhangjw完成签到 ，获得积分10
49秒前
矜天完成签到 ，获得积分10
49秒前
redstone完成签到，获得积分10
51秒前
请你吃欧润橘完成签到，获得积分10
52秒前
hahahan完成签到 ，获得积分10
53秒前
memory完成签到，获得积分10
53秒前
55秒前
56秒前
56秒前
57秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
List of 1,091 Public Pension Profiles by Region 1561
Specialist Periodical Reports - Organometallic Chemistry Organometallic Chemistry: Volume 46 1000
Current Trends in Drug Discovery, Development and Delivery (CTD4-2022) 800
Foregrounding Marking Shift in Sundanese Written Narrative Segments 600
Holistic Discourse Analysis 600
Beyond the sentence: discourse and sentential form / edited by Jessica R. Wirth 600
热门求助领域 （近24小时）
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 纳米技术 计算机科学 内科学 化学工程 复合材料 物理化学 基因 遗传学 催化作用 冶金 量子力学 光电子学
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 5522443
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 4613434
关于积分的说明 14538832
捐赠科研通 4551149
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 2494023
邀请新用户注册赠送积分活动 1475048
关于科研通互助平台的介绍 1446425
Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：826996720【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通