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Convergence during feedback controlled reactive magnetron sputtering: Mechanisms and classification

趋同（经济学）溅射沉积材料科学腔磁控管计算机科学溅射控制理论（社会学）人工智能纳米技术经济薄膜宏观经济学控制（管理）

作者

Josja Van Bever,K. Strijckmans,Stéphanos Konstantinidis,Diederik Depla

出处

期刊：Surface & Coatings Technology [Elsevier BV]
日期：2025-04-09 卷期号：507: 132095-132095 被引量：2

链接

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标识

DOI：10.1016/j.surfcoat.2025.132095

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