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Nanoindentation study of magnetron-sputtered CrN and CrSiN coatings

纳米压痕 材料科学 微观结构 微晶 溅射沉积 腔磁控管 扫描电子显微镜 弹性模量 冶金 复合材料 表面粗糙度 溅射 相（物质） 分析化学（期刊） 薄膜 纳米技术 化学 色谱法 有机化学
作者
Hetal N. Shah,R. Jayaganthan,Avinash C. Pandey
出处
期刊：Materials in engineering [Elsevier]
日期：2011-01-23 卷期号：32 (5): 2628-2634 被引量：25
标识
DOI：10.1016/j.matdes.2011.01.031
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