Area-selective atomic layer deposition of high-quality Ru thin films by chemo-selective adsorption of short alkylating agents

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作者
Jeong‐Min Lee,Seo‐Hyun Lee,Jieun Oh,Woo‐Hee Kim
出处
期刊:Materials Letters [Elsevier BV]
卷期号:333: 133574-133574 被引量:15
标识
DOI:10.1016/j.matlet.2022.133574
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