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Comparative study on substrate quality of laser slicing and wire saw slicing for SiC wafers
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作者
Jianfei Zhang,
Yiyang Chen,
Linlin Che,
Boyuan Li,
Xing Zhang,
Haoyu Fan,
Qingyu Li,
Jia‐Wei Wang,
Yufeng Xue,
Yangyang Jia,
Qiu Chen,
Xiufang Chen,
Rongkun Wang
出处
期刊：
CrystEngComm
[Royal Society of Chemistry]
日期：2025-11-25
卷期号：28 (1): 177-188
被引量：3
标识
DOI：10.1039/d5ce00994d
摘要
Schematic diagram of apparatus and corresponding substrate quality for laser slicing and wire saw slicing technologies of SiC wafers.
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