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3d mask simulation and lithographic imaging using physics-informed neural networks

平版印刷术 计算机科学 人工神经网络 物理 人工智能 光学
作者
Vlad Medvedev,Andreas Erdmann,Andreas Roßkopf
链接
fraunhofer.de fraunhofer.dedoi.org
标识
DOI：10.1117/12.3010466
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