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Femtosecond laser micromachining of grooves in silicon with 800 nm pulses

表面微加工飞秒激光器材料科学沟槽（工程）硅激光烧蚀光学烧蚀波长光电子学制作物理医学替代医学工程类病理冶金航空航天工程

作者

T.H.R. Crawford,A. Borowiec,H. K. Haugen

出处

期刊：Applied Physics A [Springer Science+Business Media]
日期：2004-08-30 卷期号：80 (8): 1717-1724 被引量：114

标识

DOI：10.1007/s00339-004-2941-2

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