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STCC formula including polarization and M3D effects in high-NA EUV lithography

极紫外光刻材料科学平版印刷术极化（电化学）光电子学光学光刻电子束光刻计算光刻无光罩微影下一代光刻

作者

Hiroyoshi Tanabe,Moe SUGIYAMA,Masayuki Shimoda,Atsushi Takahashi

标识

DOI：10.1117/12.3086632

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