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Process development of small size copper-plated InP wafer with 8-inch CMP equipment
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作者
Ming Cheng,
Dongxu ZHAO,
Yunpeng Wang,
Fei Wang,
Yi FAN,
Yang Jiang
出处
期刊:
Guangxue jingmi gongcheng
[Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sciences]
日期:2024-01-01
卷期号:32 (3): 392-400
标识
DOI:10.37188/ope.20243203.0392
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