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Low-resistance TiAl3/Au ohmic contact and enhanced performance on AlGaN/GaN HEMT

欧姆接触 高电子迁移率晶体管 材料科学 接触电阻 光电子学 宽禁带半导体 氮化镓 冶金 电气工程 纳米技术 晶体管 图层（电子） 电压 工程类
作者
Te Xu,Jizhou Zhang,Zhen Yang,Jiangwen Wang,Qiurui Li,Yufei Zhang,Weiguo Hu,Junyi Zhai
出处
期刊：Applied Surface Science [Elsevier BV]
日期：2024-04-27 卷期号：664: 160179-160179 被引量：9
标识
DOI：10.1016/j.apsusc.2024.160179
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