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Low-resistance TiAl3/Au ohmic contact and enhanced performance on AlGaN/GaN HEMT

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作者
Te Xu,Jizhou Zhang,Zhen Yang,Jiangwen Wang,Qiurui Li,Yufei Zhang,Weiguo Hu,Junyi Zhai
出处
期刊:Applied Surface Science [Elsevier BV]
卷期号:664: 160179-160179 被引量:9
标识
DOI:10.1016/j.apsusc.2024.160179
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