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High-rate deposition of ultra-thick silver film by hollow cathode magnetron sputtering

材料科学 高功率脉冲磁控溅射 溅射沉积 阴极 腔磁控管 磁铁 溅射 沉积（地质） 光电子学 多物理 复合材料 薄膜 纳米技术 电气工程 有限元法 古生物学 物理 工程类 沉积物 生物 热力学
作者
Jantao Tan,Jun Wang,Qing Cao,Hailin Bi,Jun Wu,Xudi Wang
出处
期刊：Vacuum [Elsevier]
日期：2023-03-22 卷期号：212: 112034-112034 被引量：8
标识
DOI：10.1016/j.vacuum.2023.112034
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