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Etching process prediction based on cascade recurrent neural network
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作者
Zhenjie Yao,
Ziyi Hu,
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Fengling Qin,
Wenrui Wang,
Zhicheng Wu,
Lingfei Wang,
Hua Shao,
Yida Li,
Zhiqiang Li,
Zhongming Liu,
Junjie Li,
Rui Chen,
Ling Li
出处
期刊：
Engineering Applications of Artificial Intelligence
[Elsevier BV]
日期：2024-11-08
卷期号：139: 109590-109590
被引量：6
标识
DOI：10.1016/j.engappai.2024.109590
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